(I410-113-24-02-088004082) 진동 센서는 일반적으로 압전 효과를 이용하며 압전 효과란 외력으로 인한 재료 변형으로 전기가 발생하는 1차 압전 효과와 전기를 가하면 재료에 변형이 생기는 2차 압전 효과로 나눌 수 있다. 그리고 일반적인 진동 센서는 1차 압전 효과를 이용한다. 압전 물질의 대표적인 예로 수정 결정이 있는데 수정 결정의 축을 따라 인장하거나 압축하면 분극 현상이 생겨 수정 결정에 전기장이 형성된다. 이와 같은 압전 효과에 의해 생성된 전기장을 측정하는 것이 진동 센서의 원리이다. 진동 센서의 성능은 민감도로 나타나는데 단위 압력당 생성된 전압으로 표현하는 것이 바람직하다. 최근에는 민감도가 우수한 거미 모방 진동 센서가 주목받고 있다. 거미 모방 진동 센서에 진동이 가해지면 백금 박막 간의 접촉 면적이 변하는데 일정 전압에서 진동이 커질수록 전기 저항이 커진다. 반도체 산업과 같이 초미세 구조를 만드는 공정에서 미세한 진동은 소자 불량의 원인이 되므로 우수한 진동 센서는 필수적이고 중요한 역할을 한다.
